【摘 要】
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从60年代首次出现起,微波集成电路(MIC)的发展就一直没有停止。各种类型的混频器、放大器、开关器件等已占据了微波通信、雷达、遥感、航天等领域的主导地位。随着微波半导
【机 构】
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西安空间无线电技术研究所,西安空间无线电技术研究所,西安空间无线电技术研究所 西安 710000,西安 710000,西安 710000
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从60年代首次出现起,微波集成电路(MIC)的发展就一直没有停止。各种类型的混频器、放大器、开关器件等已占据了微波通信、雷达、遥感、航天等领域的主导地位。随着微波半导体器件的成熟,工艺加工水平的提高,以及砷化镓材料设备的完善,器件成品率提高,MIC已走向MMIC(单片微波集成电路),并向超高速数字电路和光集成电路发展。对于我国来说,MIC
Since its first appearance in the 1960s, the development of microwave integrated circuits (MICs) has not stopped. Various types of mixers, amplifiers, switching devices have dominated the microwave communications, radar, remote sensing, aerospace and other fields dominance. With the maturity of microwave semiconductor devices, the improvement of the processing level, and the improvement of GaAs materials and devices, the yield of the devices has increased. The MIC has moved toward the MMIC (monolithic microwave integrated circuit) and has been developed into very high speed digital circuits and optical integrated circuits . For my country, MIC
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