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介绍了五氧化二钽镀膜材料的制作工艺和膜层性能.
五氧化二钽镀膜材料
【摘 要】
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介绍了五氧化二钽镀膜材料的制作工艺和膜层性能.
【机 构】
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北京巨玻光电技术有限公司(北京)
【出 处】
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第十一届全国薄膜学术交流会
【发表日期】
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2001年11期
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