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从容易制得的两种单体合成结构型感光聚酰亚胺，该聚合物在极性溶剂中有良好的溶解性，在中紫外至深化紫外具有负性感光性，其分辨率小于３μｍ，固化时膜无收缩，变形和减薄等现象，还采用ＩＲ谱对其感光机理进行了初步研究。
结构型感光性聚酰亚胺的研究
【摘 要】
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从容易制得的两种单体合成结构型感光聚酰亚胺，该聚合物在极性溶剂中有良好的溶解性，在中紫外至深化紫外具有负性感光性，其分辨率小于３μｍ，固化时膜无收缩，变形和减薄等现象，还采用ＩＲ谱
【机 构】
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上海交通大学高分子材料研究所
【出 处】
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高分子材料科学与工程
【发表日期】
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1998年5期
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