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SILVACO TCAD是一款半导体工艺和器件仿真的专用软件,具有良好的界面,精确的模型设计被广泛应用。本文利用SILVACO TCAD软件对VDMOS功率器件的工艺和器件参数进行仿真,根据仿真过程及结果,提出了该仿真软件应用过程应该注意的一些问题。
浅谈SILVACO TCAD在VDMOS功率器件设计中的应用
【摘 要】
：
SILVACO TCAD是一款半导体工艺和器件仿真的专用软件,具有良好的界面,精确的模型设计被广泛应用。本文利用SILVACO TCAD软件对VDMOS功率器件的工艺和器件参数进行仿真,根据仿
【机 构】
：
江苏信息职业技术学院
【出 处】
：
电子技术与软件工程
【发表日期】
：
2016年9期
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