论文部分内容阅读
采用氢微波等离子体对纳米TiO2薄膜催化剂进行改性处理来改善其光谱响应范围．AFM观察表明未经烧结的TiO2薄膜表面形貌发生较大变化，经过500℃1h热处理过的样品表面形貌变化不大，但处理后样品表面颜色变为淡灰色，并随着气压和功率增大而变深；紫外一可见光谱分析表明，纳米TiO2薄膜催化剂的光谱响应曲线发生了12—25nm红移；XPS定量分析证实，改性处理后部分TiO2被还原为低价钛氧化物，同时在TiO2薄膜的表面产生了氧空位，从而使样品的吸收边红移，可见光吸收增加．通过不同气压、功率、时间研究显示，在气压