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探讨了微悬臂梁的制作中的牺牲层释放工艺,针对FPA结构中微悬臂梁的结构层和牺牲层材料的选择和制作方法,从释放机理的角度对磷硅玻璃腐蚀速率等释放关键技术作了研究,给出了相应的加工参数。
微悬臂梁制作中的牺牲层释放工艺研究
【摘 要】
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探讨了微悬臂梁的制作中的牺牲层释放工艺,针对FPA结构中微悬臂梁的结构层和牺牲层材料的选择和制作方法,从释放机理的角度对磷硅玻璃腐蚀速率等释放关键技术作了研究,给出了
【机 构】
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扬州市职业大学机械工程学院
【出 处】
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南京工业职业技术学院学报
【发表日期】
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2010年4期
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