为研究靶材微观组织对溅射薄膜质量的影响，对纯度为99.99%(质量分数)的钴板在室温下单向轧制，利用光学显微镜（Optical Microscope, OM）和电子背散射衍射（EBSD）技术分析其冷轧前后显微组织和织构特征，对开发高性能超高纯钴靶材提供理论依据与试验支撑。结果表明：初始态高纯钴板晶粒形状不规则、尺寸不均匀，以密排六方相（HCP）为主。HCP相虽然有一定的织构，但取向特征并不明显，且HCP相中有大量的板条组织，FCC相呈现出比HCP相更为随机的取向分布。冷轧变形导致板材中晶粒变形剧烈，部分晶粒沿轧制方向明显拉长，并且形成大量小角度晶界及变形孪晶。在孪晶和小角度晶界的分割下，变形晶粒存在一定程度地细化，形成细晶区；同时，钴板发生马氏体相变，FCC相转变为HCP相。轧制态板材中HCP相呈现一定基面织构，而FCC相依旧呈现出较为随机的取向分布特征。