【摘 要】
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隧穿磁强计是一种基于量子力学中隧道效应原理的新型磁强计,该文给出了两种隧穿磁强计方案,一种是洛伦次力方向和敏感元件平面相互垂直的垂直式方案,另一种是洛伦次力方向和
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,河北半导体研究所微米/纳米中心
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隧穿磁强计是一种基于量子力学中隧道效应原理的新型磁强计,该文给出了两种隧穿磁强计方案,一种是洛伦次力方向和敏感元件平面相互垂直的垂直式方案,另一种是洛伦次力方向和敏感元件平面相互重合的水平式方案,分析了垂直式方案的加工难点.建立了水平式隧穿磁强计的敏感元件--质量弹簧系统的模型,推导了系统刚度和1阶固有频率的计算式,应力仿真图、静力变形仿真图和1阶振型仿真图均符合设计要求,结果证明模型是正确的.
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