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报道了利用ＰＥＣＶＤ技术在Ｐ－Ｓｉ衬氏抛光面上淀积含Ｃ６０聚合薄膜及在薄膜表面蒸金形成Ａｕ／Ｃ６０－Ｐｏｌｙｍｅｒ／Ｐ－Ｓｉ结构。
Au／C60—Polymer／P—Si结构C—V特性
【摘 要】
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报道了利用ＰＥＣＶＤ技术在Ｐ－Ｓｉ衬氏抛光面上淀积含Ｃ６０聚合薄膜及在薄膜表面蒸金形成Ａｕ／Ｃ６０－Ｐｏｌｙｍｅｒ／Ｐ－Ｓｉ结构。
【机 构】
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吉林大学
【出 处】
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吉林大学自然科学学报
【发表日期】
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1996年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金，中国科学院长春物理研究所激发态物理开放实验室资助
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