【摘 要】
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本文论述一种高灵敏度的新型表面轮廓检测系统。该系统由双焦透镜偏振共路干涉系统及共模抑制电子处理系统两部分组成。可用于各种材料表面的无损检测。该系统的纵向灵敏度小
【机 构】
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浙江大学光科系,浙江大学光科系,浙江大学光科系,浙江大学光科系
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本文论述一种高灵敏度的新型表面轮廓检测系统。该系统由双焦透镜偏振共路干涉系统及共模抑制电子处理系统两部分组成。可用于各种材料表面的无损检测。该系统的纵向灵敏度小于20A,横向灵敏度小于2μm。与Talysurf-6触针式表面轮廓仪对同一样品表面测试结果进行了比对,获得了满意的结果。
This article discusses a new highly sensitive surface profile detection system. The system consists of a bifocal lens polarization common-mode interference system and a common-mode suppression electronic processing system. Can be used for non-destructive testing of various material surfaces. The system has a vertical sensitivity of less than 20A and a lateral sensitivity of less than 2μm. And Talysurf-6 stylus surface profiler on the same sample surface test results were compared and obtained satisfactory results.
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