论文部分内容阅读
采用光刻、干法刻蚀、电镀等微机电系统（MEMS）工艺设计了一种新型的带磁芯的螺线管微电感。采用COMSOLMultiphysics有限元软件，计算了不同频率交流载荷下的等效电阻、等效电感和阻抗随频率变化的关系。模拟结果表明，在1kHz～1MHz的频率范围内，其等效电感值基本不变，约为27nH，电阻值约为9Q，射频模拟结果表明其共振频率为0．45GHz。