【摘 要】
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技术领域rn本发明专利涉及一种空气静压轴承技术,可广泛用于精密加工及测量装备中,属于精密加工及测量技术领域.rn技术背景rn随着超精密加工和检测技术的发展,超高精度的回转
【机 构】
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北京市海淀区中关村南大街5号,100081
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技术领域rn本发明专利涉及一种空气静压轴承技术,可广泛用于精密加工及测量装备中,属于精密加工及测量技术领域.rn技术背景rn随着超精密加工和检测技术的发展,超高精度的回转运动和直线运动的实现越来越重要.空气静压轴承因其高精度、长寿命的优点,广泛应用于现代超精密加工机床和测量仪器中,实现高精度回转和直线运动.现有空气静压轴承一般由轴承套
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