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对微机械陀螺振动式陀螺的频率和阻尼特性进行了分析和模拟．以设计的一种微机械陀螺为模型，对其驱动和检测方向的阻尼力系数进行了计算，利用MATLAB模拟了阻尼对灵敏度以及频率特性的影响．得出了不仅频率匹配对微机械陀螺的性能有重要影响，而且阻尼匹配也会影响陀螺的灵敏度和频率特性．
常压下工作的微机械陀螺的频率和阻尼特性
【摘 要】
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对微机械陀螺振动式陀螺的频率和阻尼特性进行了分析和模拟．以设计的一种微机械陀螺为模型，对其驱动和检测方向的阻尼力系数进行了计算，利用MATLAB模拟了阻尼对灵敏度以及频率特
【机 构】
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哈尔滨工业大学MEMS中心
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年05B期
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