沉积高品质金刚石薄膜的MWPCVD系统

来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhuguangpo123

【摘要】

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建立了用于沉积高品质金刚石薄膜的微波等离子体化学气相沉积系统，并对该系统的工作性能进行了研究． A microwave plasma chemical vapor deposition system for depositing h

【作者】

：

白亦真吕宪义金曾孙王春蕾邹广田

【机构】

：

吉林大学超硬材料国家重点实验室

【出处】

：

吉林大学自然科学学报

【发表日期】

：

1995年02期

【关键词】

：

金刚石薄膜 MWPCVD 基片温度微波等离子体化学气相沉积工作性能反应气体氧气流量沉积工艺表面形貌

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建立了用于沉积高品质金刚石薄膜的微波等离子体化学气相沉积系统，并对该系统的工作性能进行了研究． A microwave plasma chemical vapor deposition system for depositing high quality diamond films was established and the performance of the system was studied.

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