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专利名称:热解氮化硼涂层基座
专利名称:热解氮化硼涂层基座
来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zane11th
【摘 要】
:
一种涉及半导体新型材料领域,用化学气相沉积技术生产的热解氮化硼涂层基座,是针对目前用MOCVD技术制取GaN外延片时,由于受NH3气腐蚀,使用寿命缩短,
【作 者】
:
赵凤鸣
江凤益
【出 处】
:
表面技术
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
氮化硼
专利名称
基座
涂层
热解
化学气相沉积技术
MOCVD技术
新型材料
使用寿命
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一种涉及半导体新型材料领域,用化学气相沉积技术生产的热解氮化硼涂层基座,是针对目前用MOCVD技术制取GaN外延片时,由于受NH3气腐蚀,使用寿命缩短,
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