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<正> 邻叠氮萘醌磺酸酯型正性光刻胶(或光致抗蚀剂)具有如下特点:1.分辨率高,一般在1μ以下,即使涂胶较厚,也能得到较好的分辨率。2.所得图象逼真,边缘整齐,线条锐度好。
邻叠氮萘醌磺酸酯型光敏剂的合成及其性能的测试
【摘 要】
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<正> 邻叠氮萘醌磺酸酯型正性光刻胶(或光致抗蚀剂)具有如下特点:1.分辨率高,一般在1μ以下,即使涂胶较厚,也能得到较好的分辨率。2.所得图象逼真,边缘整齐,线条锐度好。
【机 构】
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苏州大学,苏州大学,苏州大学,
【出 处】
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感光材料
【发表日期】
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1986年01期
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