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本文概述了微电子器件对离子注入机的需求，介绍了国外离子注入机发展现状和发展趋势。
国外离子注入机发展动态
【摘 要】
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本文概述了微电子器件对离子注入机的需求，介绍了国外离子注入机发展现状和发展趋势。
【机 构】
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长沙电子部第４８研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1995年4期
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