【摘 要】
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为解决麦瓦(MEVVA)离子源束流的径向分布均匀性问题,采取了加入会切磁场的方法. 会切磁场的安放位置不同得到束流分布均匀性的程度不同. 另外,如安放一纵向磁场对分布的均匀
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为解决麦瓦(MEVVA)离子源束流的径向分布均匀性问题,采取了加入会切磁场的方法. 会切磁场的安放位置不同得到束流分布均匀性的程度不同. 另外,如安放一纵向磁场对分布的均匀性也有改善,但不如在合适位置安放会切磁场的效果好.
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