0.35μm相移掩模模拟计算及软件设计

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuanwuba
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
首先通过对0.35μm接触方孔在不同相移掩模情况下硅片表面空间象光强分布的模拟计算,得出不同相移掩模情况下的最优相移参数。在几种相移掩模中,衰减型对南昌市边缘斜率最为明显,因此我们决定采用衰减型相移掩模。最后编制了相应的衫化软件,该软件能够自动生成各种相移掩模并能够模拟计算不同照明参数、不同掩模、不同数值孔径、不同离焦情况下的空间象分布,以及直接生成制作掩模时的激光直写数据。
其他文献
【寒假里,爸爸妈妈带我回老家过年。】一天,我刚写完作业。突然,听见我家的小狗汪汪汪地大叫起来。【我心想:出什么事儿啦?忙奔出门去看。】只见小狗正虎视眈(dān)眈地盯着一群可爱
河马三天没吃东西,一股大风就能把他刮走。他看见电线杆上贴着一张纸,纸上写着:猫妈妈急需保姆(mu),快来!
目的观察探究在气管切开患者高压氧治疗中陪舱护理的应用价值。方法选取2018年5月~2019年2月我院收治的行HBO治疗的气管切开患者400例作为研究对象,对其进行陪舱护理,观察治
【摘 要】小学合作学习法作为一种能够充分调动学生学习积极性的方法,在各个教学阶段和不同学科课堂中都有较为广泛且有效的运用。今天本文则将以小学数学教学为例,首先探讨构建运用小组合作法的原则策略,其次再探讨可行的小组合作开展模式,致力于为教师们带去教学实践上的启发。  【关键词】小学数学 小组合作学习 教学模式 研究  中图分类号:G4 文献标识码:A DOI:10.3969/j.issn
今天,语文老师教我们学习“人”字,她说:“人是最高级的动物。”我站起来说:“人不是动物。”老师笑了,说:“你说说理由。”
光纤电压互感器中电光晶体BGO(Bi4Ge3O12)的缺陷,杂质及内部残余应力引起自然双折射,降低仪器的电压测量精度。从理论上分析了晶体在不同方向应力时不同通光方向上的双折射,又从热光效应的原理
该文回顾了部分水工建筑物闸门启闭机设备投入运行后出现的问题,提出要和重视整个工程管理一样重视闸门启闭机设备管理。着重说明了设备管理等级评定的一些做法,提出的建议可作
1.虽然谷拉拉的厨艺不怎么样,但是她烤的蛋糕的味道可是一流的。今天是她的生日,她烤了很多蛋糕招待大家。看着这一个个蛋糕,此时嘟拉拉心里打起了小算盘。  2.嘟拉拉:古拉格,上次我是见识你的切割技术了,可大伙儿还没看到呢,今天就由你来切蛋糕吧!  古拉格:没问题!说吧,大家想怎么切?  3.莫尔夫人:切蛋糕可是有很多学问的。比如这个圆柱状蛋糕,如果一刀切下去,那就是一分为二。  嘟拉拉:这是再简单不
每个民族都有属于自己的节日,这些节日是这个民族年鉴凸显的页面。节日,于古老的华夏民族而言,更是生活大书的书脊,串联着一页页向前的日子,更是民族情感的纽带,牵动着每一个
期刊
提出了一种50μm测量范围内,2nm不确定度,、0.5nm分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声制器和稳频He-Ne激光器获取频差小于200kHz的正交偏振双频激光束,X和Y二臂偏振干仪将采用差分干涉仪,采用