【摘 要】
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对介质桥串联接触式RFMEMS开关的制备工艺进行了研究。介绍了开关的结构，说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中，严重影响开关的机械可靠性。通过改进工艺，提出了一种
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对介质桥串联接触式RFMEMS开关的制备工艺进行了研究。介绍了开关的结构，说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中，严重影响开关的机械可靠性。通过改进工艺，提出了一种侧向钻蚀刻蚀介质桥膜下金属的方法，获得了平坦的介质桥膜。最后，给出了完整的开关制备流程。与常规工艺相比，新工艺避免了应力集中问题，提高了开关的机械可靠性，成品率从10％提高到了95％，工作寿命从1000次提高到了2．5×10^7次。此外，在23．3V的驱动电压下，开关插入损耗〈0．55 dB@DC-10 GHz，隔离度〉53．
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