【摘 要】
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FPA—2000il型i线步进机是日本佳能公司生产的用于16MDRAM批量生产的机型。该装置配备了数值孔径为0.52、曝光面积为加20mm见方的i谱线透镜。16MDRAM的设计规范约为0.5μm。
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FPA—2000il型i线步进机是日本佳能公司生产的用于16MDRAM批量生产的机型。该装置配备了数值孔径为0.52、曝光面积为加20mm见方的i谱线透镜。16MDRAM的设计规范约为0.5μm。FPA一2000il型机具有0.5μm的分辨率,是满足0.5μm工艺时代的大数值孔径i线步进机。
FPA-2000il i-line stepper is produced by Japan’s Canon for 16MDRAM mass production models. The unit is equipped with an i-line lens with a numerical aperture of 0.52 and an exposure area of 20 mm square. 16MDRAM design specification is about 0.5μm. FPA a 2000il machine with 0.5μm resolution, is to meet the 0.5μm process times large numerical aperture i-line stepper.
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