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本文用透射电镜和x光衍射仪揭示了PCVD法TiN涂层的物相及超细晶粒、位错、择优取向等微观结构，并对该涂层的性能进行了比较试验。
等离子化学气相沉积（PCVD）TiN涂层的组织与性能研究
【摘 要】
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本文用透射电镜和x光衍射仪揭示了PCVD法TiN涂层的物相及超细晶粒、位错、择优取向等微观结构，并对该涂层的性能进行了比较试验。
【出 处】
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西南交通大学学报
【发表日期】
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1990年3期
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