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SOI梯形截面光波导的模式分析
SOI梯形截面光波导的模式分析
来源 :光电子·激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ryu_sh
【摘 要】
:
采用有效折射率和转移矩阵理论相结合的方法得到了SOI梯形光波导的本征模方程.计算得到的有效折射率与WKB 法相比误差不超过10-5,其垂直方向电场分布与BPM模拟结果基本相符.
【作 者】
:
王小龙
余金中
陈少武
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所
【出 处】
:
光电子·激光
【发表日期】
:
2002年11期
【关键词】
:
SOI
梯形截面
光波导
有效折射率
转移矩阵
本征模方程
刻蚀工艺
Electric fieldsMatrix algebraSimulation
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采用有效折射率和转移矩阵理论相结合的方法得到了SOI梯形光波导的本征模方程.计算得到的有效折射率与WKB 法相比误差不超过10-5,其垂直方向电场分布与BPM模拟结果基本相符.首次得到了SOI梯形波导的单模曲线和其近似解析表达式,此结果与修正的WKB法一致.
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