氢氟酸刻蚀对Ni/6H-SiC接触性质的作用

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:janyang256
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用浓度为10%的氢氟酸(HF)刻蚀6H-SiC单晶片,研究了HF刻蚀时间对Ni/6H-SiC接触性质的影响.经24h刻蚀的SiC基片在溅射Ni层后,其接触表现良好线性的电流-电压(I-V)曲线.低于这个腐蚀时间的接触具有明显的势垒,但在大于1000℃快速退火后,也得到了良好线性的I-V曲线.X射线衍射(XRD)和俄歇能谱(AES)深度元素分析表明Ni2Si和C是快速退火后的主要产物.XRD和低能反射电子能量损失谱表明表层的C元素是以非晶态存在.通过研究高温快速退火下元素的互扩散及HF与SiC表层反应机理,发现SiC表面富碳层是这两种方法形成欧姆接触的关键因素. The effect of HF etching time on the contact properties of Ni / 6H-SiC was investigated by hydrofluoric acid (HF) etching of 6H-SiC single crystal at a concentration of 10% , The contact showed a good linear current-voltage (IV) curve.The contact below this etching time had a significant barrier but a good linear IV curve was also obtained after rapid annealing at above 1000 ° C. X-ray diffraction XRD and AES analysis show that Ni2Si and C are the main products after rapid annealing.The energy loss spectra of XRD and low energy reflection electron indicate that the C element in the surface layer exists in amorphous state.Through the study of high temperature and rapid The mutual diffusion of elements under annealing and the reaction mechanism between HF and SiC surface. It is found that the carbon-rich layer on the SiC surface is the key factor for the formation of ohmic contact between these two methods.
其他文献
健康长寿,是当今世界人民的共同愿望,也是人类社会发展、研究的永恒课题。太极拳是实现这一美好目标的最佳养生术之一。怎样修炼太极拳才能求得其最佳的养生功效呢?一、动静
讲文明、懂礼貌,具有良好的体形体态和精神面貌是一种时尚,也是文明社会人际关系的重要基础。在职业学校中开设形体训练、礼仪教育课,为提高学生的形体及礼仪素质, Civiliza
由岩石圈计划全国委员会、中国海洋地质学会、中国海洋湖沼学会地质学会、中国海洋研究委员会、中国古生物学会微体古生物学会和国家自然科学基金会、地球科学部发起主办的
健美操和舞蹈都是良好的健身手段,二者所产生的健身效果也为世人公认。本文通过问卷调查法,数据统计法等对健美操与舞蹈的异同及应用情况进行研究,旨在健美操教学中科学合理
4月26日“博洛尼杯”我用美丽迎奥运在阳光海健身会所推出健身总动员免费活动日,爱美女性亲身体验了热辣火爆的爵士舞和对柔韧性要求颇高的普拉提运动。 April 26 “Boloni
民俗传统通过知识生产活动实现传承,关照着民众的生活方式和表述方式。通过知识生产活动,民众在日常生活世界中,代际传承着一地或一族群的地方性知识谱系和文化记忆。新晃侗
编者按1994年,中国电影开放市场,每年引进10部外国分账大片,在业界引起一片惊忧之声;2001年,中国加入WTO,允许每年进口20部分账大片,再一次震撼了电影业界。然而,将近二十年
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
这种简易的两端面车刀,可同时加工法兰类零件的两端面,或者用于零件的两端面精加工,且可以按照加工要求的厚度范围,方便地调整两刀刃位置。如图所示,该组合刀具由一把左偏刀
发球是排球比赛中的进攻手段之一。有威力的发球可以破坏对方战术起到先发制人、争取主动的作用。本文对2010-2011年全国女排联赛决赛天津女排对恒大女排的三场共13局比赛为