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讨论了用丙烯酸酯改性的成膜树脂组分及各组分的相对比例、溶剂、分子量调节剂、加料方式等对成膜树脂分子量及干膜性能的影响。试验结果表明改性改善了市售苯丁抗蚀干膜的性能。
苯丁光致抗蚀干膜的改性
【摘 要】
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讨论了用丙烯酸酯改性的成膜树脂组分及各组分的相对比例、溶剂、分子量调节剂、加料方式等对成膜树脂分子量及干膜性能的影响。试验结果表明改性改善了市售苯丁抗蚀干膜的性
【出 处】
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感光材料
【发表日期】
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1995年6期
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