【摘 要】
：
为了得到非晶硅(a-Si)薄膜红外光学常数与工艺参数之间的关系,采用Ar离子束辅助电子束热蒸发技术制备a-Si薄膜,并利用椭偏仪和分光光度计测量了薄膜的光学常数,分析了薄膜沉
【基金项目】
：
陕西省教育厅专项科研计划项目(2010JK586)
论文部分内容阅读
为了得到非晶硅(a-Si)薄膜红外光学常数与工艺参数之间的关系,采用Ar离子束辅助电子束热蒸发技术制备a-Si薄膜,并利用椭偏仪和分光光度计测量了薄膜的光学常数,分析了薄膜沉积速率、基底温度和工作真空度对a-Si薄膜折射率和消光系数的影响.实验结果表明:影响a-Si薄膜光学常数的主要工艺因素是沉积速率和基底温度,工作真空度的影响最小.当沉积速率和基底温度升高时,薄膜的折射率先增大后减小;当工作真空度升高时,薄膜的折射率增大.在波长1~5μm之间,a-Si薄膜的折射率变化范围为2.47~3.28.
其他文献
本文通过分析春节的民俗学研究范围,即信仰、文化、经济和社会等方面所体现和喻示的民俗事项,从中总结出春节所具有的民俗特征,揭示了春节作为中国最重要的传统节日在人们生
寺庙旅游景点说明牌的翻译要考虑游客对佛教了解的程度。对寺庙中经常出现的佛像和主要殿堂的翻译既要准确又要通俗易懂,尽量用英语中已有的佛教专有名词或梵语称呼主要佛像
<正>中美两国是全球最大的两个经济体,中美民航产业规模分别位居全球第一位和第二位;中美航空市场同时具有国内和国际市场双旺的特点,这个特征在全球范围内也十分罕见。但中
<正>龙岗寺遗址坐落在南郑县石拱乡爱国村西北部的汉水右岸第三阶地上,北靠梁山,南接广袤的汉水谷地,地理坐标东经106°58’北纬33°3’相传有龙斗于此,故而得名。现为省级重
老年人口再就业对缓解我国人口老龄化造成的经济社会和家庭压力具有重要作用,文章旨在梳理有关退休老年人再就业的原因、影响因素,为下一步的研究提供文献资源支持。
<正>葵花普通而又极具个性。它朴实而坚强,执着而向上。对太阳不懈的追求成就了每一株向日葵挺拔的身姿,成就了它与众不同的美丽。也正因如此,中关村一小的孩子们尤其喜欢向
<正>大峪中学倡导"山谷相生、自然天成"的"山谷教育"办学理念,几年来,学校一直在探索和实践体现这种教育理念的课程体系,"山谷课程"逐渐清晰并系统化,即通过国家课程山谷化,
论述了鞣质的一般结构和大黄中对肾功能起作用的三种缩和性鞣质的结构，提出了分离大黄中鞣质的设想．
<正>借助具体的心智图像增进对抽象数学知识的理解,在数学学习中比较普遍。小学数学中的心智图像有自己的特点,教学中教师应注意选择使用适度概括水平的心智图像,注意使学生
本文运用存在主义的自由选择理论对萨特四幕剧《死无葬身之地》中的索比埃进行分析,认为自由选择成就英雄,但英雄的本质仍是非英雄。