【摘 要】
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超级高性能（I.H.P.）SAW器件因具有优异的品质因数（Q）值及温度稳定性而备受关注。为用于宽带滤波器的研发，对双层结构（Cu电极/Y旋转5°切LiNbO3压电层/SiO2功能层/Si衬底）的I.H.P. SAW基底结构设计进行了研究。考虑质量加载效应，结合电极与压电层界面上的应力与自由电荷分布特点，采用精确的有限元/边界元法（FEM/BEM）理论进行研究。利用多层结构的连续性边界条件，计算多层
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（61701333）；
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超级高性能（I.H.P.）SAW器件因具有优异的品质因数（Q）值及温度稳定性而备受关注。为用于宽带滤波器的研发，对双层结构（Cu电极/Y旋转5°切LiNbO3压电层/SiO2功能层/Si衬底）的I.H.P. SAW基底结构设计进行了研究。考虑质量加载效应，结合电极与压电层界面上的应力与自由电荷分布特点，采用精确的有限元/边界元法（FEM/BEM）理论进行研究。利用多层结构的连续性边界条件，计算多层复合格林函数以及谐振器导纳值，寻求谐振点与反谐振点之间最大频率差以优化基底结构尺寸。计算结果表明，对金属化比为0.5,结构周期（λ/2）为2μm的器件，当功能层、压电层、电极层厚分别为0.15λ、0.2λ、0.037 5λ时，谐振频率点为880 MHz,反谐振点为1 018 MHz,由此可获得138 MHz的最大频率差。此结论为应用于宽带滤波器的I.H.P. SAW器件的设计提供了指导。
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