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该文从国内生产线的实际出发，简单介绍了目前国内主流功率VDMOS器件生产厂家所采用的平面高压VDMOS工艺平台，初步总结了当前各种成熟工艺平台具有的特点与优点，希望该文有助于国内同行之间相互借鉴与提高，目的是促进民族工业不断向前发展。
浅谈平面高压VDMOS工艺平台发展
【摘 要】
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该文从国内生产线的实际出发，简单介绍了目前国内主流功率VDMOS器件生产厂家所采用的平面高压VDMOS工艺平台，初步总结了当前各种成熟工艺平台具有的特点与优点，希望该文有助于国
【机 构】
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华越微电子有限公司
【出 处】
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电子质量
【发表日期】
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2014年3期
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