喷雾热分解法制备SnO2透明导电薄膜

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利用压缩空气气雾化器,通过喷雾热分解法,以SnCl2.2H2O为原料,在载玻片上成功制备了SnO2薄膜,在110℃到365℃间的不同沉积温度下进行镀膜,考察了沉积温度,沉积时间对SnO2薄膜制备的影响,结果表明,在325℃的沉积温度下,薄膜已晶化,随着温度升高,喷雾时间增加,方块电阻降低325℃下的样品在可见光区透射率达80%以上,近红外区透射率达90%以上。
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