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随着半导体器件参数的增加，目标函数的自变量空间维数变得越来越大。传统的优化算法已经不能很好地处理此类问题，主要表现在无法有效地达到目标函数的极小点。文章首先在参数提取软件中实现了遗传算法，并与传统的优化算法进行了比较，探讨了该算法在参数提取软件中的实用性，提出了将遗传算法与传统优化算法结合在一起的方法。