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采用磁控溅射方法制备了Pd(3nm)/CoFe(0.8nm)/纳米氧化层/CoFe(fnm)/Cu(4nm)/Pd(5nm)自旋阀底电极薄膜,并用振动样品磁强计对样品的磁性能进行了测量.研究结果表明:纳米氧化层的引入可以使电极薄膜的磁各向异性在退火后从面内转到垂直膜面方向,并且这种强烈的垂直磁各向异性在CoFe有效厚度为2nm时仍能保持.这种具有非多层膜结构、铁磁层较厚、热稳定性较高的底电极有利于基于自旋转移矩的垂直磁各向异性全金属赝自旋阀的发展.