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在分析电离辐射引起场区隔离失效机理及场区电离辐射加固技术的基础上，开发了一套适用于研制辐射加固５４ＨＣ系列和辐射加固大规模集成电路的ＣＭＯＳ工艺技术。辐射实验结果表明，该技术可比非加固电路的抗总剂量辐射能力提高两个数量级。
辐射加固54HC系列集成电路的研制
【摘 要】
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在分析电离辐射引起场区隔离失效机理及场区电离辐射加固技术的基础上，开发了一套适用于研制辐射加固５４ＨＣ系列和辐射加固大规模集成电路的ＣＭＯＳ工艺技术。辐射实验结果表明，该技术可比非
【机 构】
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航天工业总公司七七一所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年2期
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