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CVD法生长金刚石薄膜中基片表面形貌对成核密度的影响
CVD法生长金刚石薄膜中基片表面形貌对成核密度的影响
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hsu_mike
【摘 要】
:
本文首次提出用分形理论研究CVD方法生长金刚石薄膜中基片表面形貌对成核密度的影响,发现:成核密度n与基片表面分形维数D之间存在一定关系;在D介于2~3时,n有峰值存存。
【作 者】
:
杨国伟
【机 构】
:
合肥工业大学合肥230009
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
1991年2期
【关键词】
:
金刚石薄膜
CVD法
基片
成核密度
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本文首次提出用分形理论研究CVD方法生长金刚石薄膜中基片表面形貌对成核密度的影响,发现:成核密度n与基片表面分形维数D之间存在一定关系;在D介于2~3时,n有峰值存存。
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