CVD法生长金刚石薄膜中基片表面形貌对成核密度的影响

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本文首次提出用分形理论研究CVD方法生长金刚石薄膜中基片表面形貌对成核密度的影响,发现:成核密度n与基片表面分形维数D之间存在一定关系;在D介于2~3时,n有峰值存存。
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