【摘 要】
：
本文研究了高温退火过程对TiSi_2/n~+-POly-Si 复合栅MOS电容电学性能及TiSi_2膜特性的影响.结果表明,当炉退火温度高于900℃时,TiSi_2层厚度变的不均匀,甚至在某些地方不连
【机 构】
：
北京大学微电子学研究所,北京大学微电子学研究所,北京大学微电子学研究所,北京大学微电子学研究所,北京大学微电子学研究所 北京100871,北京100871,北京100871,北京100871,北京10
论文部分内容阅读
本文研究了高温退火过程对TiSi_2/n~+-POly-Si 复合栅MOS电容电学性能及TiSi_2膜特性的影响.结果表明,当炉退火温度高于900℃时,TiSi_2层厚度变的不均匀,甚至在某些地方不连续;TiSi_2/n~+Poly-Si 界面十分不平整;多晶硅中杂质外扩散十分严重; MOS电容的性能和电学参数变差.对于RTA过程,高温退火对MOS电容的电学特性没有产生不利影响,TiSi_2膜仍很均匀.所以,在 TiSi_2/Poly-Si复合栅结构工艺中,高温退火过程最好采用 RTA技术.
In this paper, the effect of high temperature annealing process on the electrical properties of TiSi_2 / n ~ + -POly-Si composite gate MOS capacitors and the characteristics of TiSi_2 films were investigated.The results show that the thickness of TiSi_2 layer becomes non-uniform when the annealing temperature is higher than 900 ℃, Even in some places discontinuous; the interface of TiSi_2 / n ~ + Poly-Si is very uneven; the impurity diffusion in polycrystalline silicon is very serious; the performance and electrical parameters of MOS capacitor deteriorate. For RTA process, TiSi2 film is still uniform, so in the TiSi2 / Poly-Si composite gate structure process, the high temperature annealing process is best to use RTA technology.
其他文献
Genetic type of basement granite from volcanic arc in the north of West Burma Block is S-type granites, which developed in volcanic arc of convergent plate marg
摘要 精细化管理是一种理念，一种文化。它是建立在常规管理的基础上，并将常规管理引向深入的基本思想和管理模式，是一种以最大限度地减少管理所占用的资源和降低管理成本为主要目标的管理方式。学校教育技术工作引入精细化管理，能充分挖掘潜力，提升信息化水平，提高办学效益。 关键词 精细化管理 信息化水平 办学效益 随着信息技术的高速发展，我校信息化校园已初步建成。为了进一步提升信息化水平，我校从加强精细化
随着社会的进步，科学技术的发展，人才供需发生了较大变化。学校如何适应这一需求的变化，是一个需不断探索的课题。一、当前人才的需求动态随着科学技术的发展，各类先进技术涉及知
PC 性能在飞跃,内存容量在剧增,光驱的速度越来越快,几十 GB 的硬盘也满地都是。但大家对移动存储设备的认识却仍停留在1.44M 的软盘上,那么移动存储设备有哪些新进展呢?其
2011年1月19日,正值武汉市青山区第十三届人大七次会议召开期间,就在人大代表热议青山区人民法院工作报告的时候,该院被最高人民法院授予“全国优秀法院”荣誉称号的喜讯传来
患儿,女,2岁.2 d前被一辆小车倒车时撞伤头颈部及胸部,到当地医院就诊,诊断为脑左额叶挫伤,左颞枕骨骨折并颅内积气,颅底骨折,双肺挫伤,予以抗感染、补液、吸氧等对症、支持治疗后,患儿病情渐平稳,于伤后第2天发现头颈不能活动,行X线片检查示枢椎齿状突骨折并环枢椎关节脱位,行颈部环状石膏固定后,转入我院。
余三反射二-十进制循环码盘式A/D变换器越来越多地被应用于自动化测量控制系统中。但是这种变换器的输出是一种无权编码,不能直接进行运算处理,运算前必须进行转换。我们给
本文采用文献资料和问卷调查的方法,揭示目前西部少数民族地区农村学校在实施国家教育部颁布的《义务教育体育(与健康)课程标准》过程中存在诸多现实问题,提出从本地区少数民
转眼间，16个春秋在我的指尖悄悄溜走。不知某天，随之而来的就是一种强烈的职业倦怠感。我不禁困惑着：是否人生到了一定的阶段，就会突然没了方向感?不单单我一个，或许，千千万万平平凡凡的教育者也曾有过这样的感觉吧!每日没完没了地工作，没完没了地应对各种检查，活得好苦好累!万千感慨在心头，却说不出一个愁!当我们担负着“引领成长、塑造未来”的重任之时，又有谁来关注我们教师的内心，谁能引领我们在教育之路上健康
USB存储应运而生长期以来，在没有局域网或因特网相连的电脑（如单位与家庭、单位与单位、个人与个人，甚至在同一单位内部）之间进行较大数据或文件交换一直是一件很麻烦的事。条件