超高真空可变矩形电子束曝光机BS-600

来源 :光学工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuji712
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本文简要地介绍了近年来捷克斯洛伐克发展的可变矩形电子束曝光机BS-600的特点、性能、指标以及主要结构。除具有目前国际上所达到的先进技术指标外,其主要优点是电子枪和真空室的真空度极高,分别为10~(-9)和10~(-8)托。因而阴极寿命长(>5000小时),可以几年不拆洗,维护极为方便。 This article briefly introduced the characteristics, performance, index and main structure of the variable rectangular electron beam exposure machine BS-600 developed in Czechoslovakia in recent years. In addition to the current international advanced technology indicators, its main advantage is the electron gun and vacuum chamber of the high degree of vacuum, respectively 10 ~ (-9) and 10 ~ (-8) care. Thus long cathode life (> 5000 hours), you can not take apart and wash a few years, maintenance is extremely convenient.
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