【摘 要】
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为了改善激光直接刻蚀过程中形貌普遍较差的问题,采用水射流激光复合刻蚀的方法,以SC复相陶瓷和Al2O3陶瓷为研究材料,分析了有无水射流条件下的形貌差异以及不同成分陶瓷的形
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为了改善激光直接刻蚀过程中形貌普遍较差的问题,采用水射流激光复合刻蚀的方法,以SC复相陶瓷和Al2O3陶瓷为研究材料,分析了有无水射流条件下的形貌差异以及不同成分陶瓷的形貌差异,并在此基础上研究了水射流流速对刻蚀深度和蚀除量的影响.结果表明,直接刻蚀时,大量熔渣附于刻蚀表面,刻蚀形貌较差,SC复相陶瓷60%以上直接气化分解,熔渣较少,形貌稍好于Al2O3陶瓷;复合刻蚀时,刻蚀形貌有所变好,且水射流流速在24m/s时的形貌要好于16mA时的;水射流流速越大,材料的刻蚀深度和蚀除量越小,流速每增大2m/S时,
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