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提出了一种检测分子束束斑直径的方法,研制了一套用以测量分子束斑直径的全玻璃分子束系统,并对H<sub>2</sub>、N<sub>2</sub>、Ar等气体的分子束进行了测量;通过与理论计算值、光学测量法比较,讨论了误差,得到了满意的结果;最后提出了以束强在束斑截面上的分布来定义束斑直径(称为有效直径)的概念,并给出了作法和结果。