硬质合金YG8衬底直接沉积金刚石薄膜的探讨

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在硬质合金衬底上直接沉积金刚石薄膜,总是伴随着石墨化过程,钴是促进石墨生长的积极因素。由于衬底温度决定氢原子的活性和钴的扩散方式,因而它是金铡石形核和生长的关键条件。在合适的衬底温度下,金刚石能形成均匀连续的薄膜。
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