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全包封功率器件中绝缘厚度测量的有效性分析
全包封功率器件中绝缘厚度测量的有效性分析
来源 :电子世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fairylky
【摘 要】
:
近年来由于全包封功率器件在安全性、抗干扰等方面的优势而得到快速发展,而其绝缘厚度的传统测量效率影响了在线质量监控的及时性.文中重点对新仪器测量进行了对比试验、分析
【作 者】
:
石海忠
吴晶
蒋伟
【机 构】
:
南通富士通微电子股份有限公司
【出 处】
:
电子世界
【发表日期】
:
2015年17期
【关键词】
:
绝缘厚度
测量
器件
insulation thickness
measurement
devices
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近年来由于全包封功率器件在安全性、抗干扰等方面的优势而得到快速发展,而其绝缘厚度的传统测量效率影响了在线质量监控的及时性.文中重点对新仪器测量进行了对比试验、分析,发现新仪器测量跟传统测量一样有效,但是新仪器测量的效率得到大大提高,有效满足了大批量生产中绝缘厚度的在线监控.
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