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本文介绍了高速机械扫描系统的结构和原理，分析了它的精度。
用于测量微图形的高速机械扫描系统
【摘 要】
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本文介绍了高速机械扫描系统的结构和原理，分析了它的精度。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1994年3期
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