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退火温度对Ag—MgF2颗粒膜结构和内应力的影响

来源 :安徽大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：shengweizheng

【摘 要】

：

报道用电子薄膜应力分布测试仪测量退火温度对Ag-MgF2复合颗粒薄膜内应力的影响,结果表明,退火温度在400℃,薄膜平均应力最小,应力分布比较均匀.XRD分析表明,Ag-MgF2复合颗粒

【作 者】

：

李爱侠 孙大明 孙兆奇 宋学萍 刘艳美 赵宗彦 杨坤堂 

【机 构】

：

安徽大学

【出 处】

：

安徽大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2002年4期

【关键词】

：

内应力 Ag-MgF2复合颗粒薄膜 退火温度 薄膜结构 应力分布 制备过程 应力效应 Ag-MgF2 complex grain film  stress  a 

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报道用电子薄膜应力分布测试仪测量退火温度对Ag-MgF2复合颗粒薄膜内应力的影响,结果表明,退火温度在400℃,薄膜平均应力最小,应力分布比较均匀.XRD分析表明,Ag-MgF2复合颗粒薄膜的内应力主要来自Ag晶粒的生长过程,当Ag的晶格常数接近块体时(400℃温度退火60分钟),Ag-MgF2薄膜内应力最小.

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