离子束增强沉积合成ZrN/W纳米多层膜

来源 :中国科学(E辑:技术科学) | 被引量 : 3次 | 上传用户：qq912214209

【摘要】

：

利用离子束增强沉积方法在室温和不同能量的氮离子轰击条件下制备了不同调制周期的ZrN/W纳米多层膜.利用XRD,AES和纳米压痕仪分析了调制周期和离子轰击能量对薄膜结构和机械性能的影响,结果表明多层膜的机械性能基本都优于单质的ZrN或W薄膜.和其他制备条件相比,在300eV能量的氮离子轰击下制备的调制周期为8~9nm的多层膜,其结构中出现了强的ZrN(111),W(110)和ZrN(220)织构的混

【作者】

：

李德军张晶晶邓湘云王明霞

【机构】

：

天津师范大学物理与电子信息学院,天津师范大学物理与电子信息学院,天津师范大学物理与电子信息学院,天津师范大学物理与电子信息学院天津300000,天津300000,天津300000,天津300000

【出处】

：

中国科学(E辑:技术科学)

【发表日期】

：

2007年11期

【关键词】

：

离子束增强沉积 ZrN/W 多层膜纳米尺度

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