论文部分内容阅读
本文概述了ＬＢ超薄抗蚀层用于光刻研究的历史及现状，指出：发展实用化的ＬＢ超薄抗蚀层技术对于微电子工业中深亚微米乃至纳米水平的微细加工具有重要的意义。
LB膜抗蚀层在光刻中的应用
【摘 要】
：
本文概述了ＬＢ超薄抗蚀层用于光刻研究的历史及现状，指出：发展实用化的ＬＢ超薄抗蚀层技术对于微电子工业中深亚微米乃至纳米水平的微细加工具有重要的意义。
【机 构】
：
东南大学分子与生物分子电子学实验室,无锡华晶电子集团公司掩模工厂
【出 处】
：
微电子技术
【发表日期】
：
1996年4期
其他文献
二孩、二胎政策的开放使得我国的生育政策又迈向一个新的台阶,随着社会的进程加快,我国的经济基础和上层建筑领域都获得较快的发展.但是相关的收养政策却没有保持与时俱进的
利用DIC8032大规模集成电路测试系统，实现了8万门门阵系列电路JSC710XX的功能，参数的测试，并验证了8万门门阵列母片。
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
高等教育的本质属性在于引导完满人性的建构与发展.人性决定着人在特定社会环境中如何行动.教育是人的教育,是为人的教育.因而,在教育过程中应当注重人性化的理念.借鉴和吸收
本文将对目前水利堤防工程施工质量管理中存在的问题进行浅析,着重阐述如何加强施工质量规范管理,保证堤防工程施工质量,旨在推动水利堤防工程施工规范化管理和持续发展,进而
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
随着经济贸易全球化的发展,英语作为全球交际的通用语言也变得越来越重要。在中国,高中的英语教学作为二语教学,也在为国家的经济贸易发展输送英语人才提供坚实的基础。然而,
目的制备泊那替尼纳米混悬剂冻干粉，并对其冻干保护剂、载药量及稳定性进行考察。方法采用溶剂蒸发技术制备泊那替尼纳米混悬剂冻干粉，利用激光纳米粒度仪、透射电镜对其粒径及
SMT光组件的标准化据有关资料报道，NEC和美国的HP以及三菱电机等三家公司通过协调工作，使表面安装型光组件（SMT光组件）的规格达到通用标准化。今后，在各公司的产品中将被积极采用
水利工程作为民生工作重点,展示在世人的眼前.如何提升中国水利工程工作的运行管理能力,是业内专家一致关心的问题.为了提高水利工程的运行管理效率,保障民生,需要正视运行管