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采用K型可磨热电偶对氮化硅陶瓷高效深磨的温度进行了测量，讨论高效深磨中不同磨削参数对磨削区温度和能量分配的影响。研究结果显示，氮化硅陶瓷高效深磨中，磨削区温度通常在200-300℃之间，磨削能量分配系数在2％～5％之间。这表明大部分热量被磨屑和冷却液带走，避免了磨削区的高温。磨削区温度与弧区的平均热流密度有着较好的线性关系，即热流密度越高对应的磨削区温度越高。当砂轮线速度或磨削深度高于临界值时，磨削弧区的温度先逐渐升高到约250℃，然后急剧上升至接近干磨时的温度。