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聚四氟乙烯薄膜制备与赝火花脉冲电子束烧蚀过程韩丽君，江兴流，赵静秋（北京航空航天大学应用数理系）近年来，许多实验室大力研究如何获得高质量的聚四氟乙烯（ＰＴＦＥ）薄膜的方法，其中有用真空蒸发法、射频溅射法和四氟化碳单体气体等离子体聚合法等方法，但这些方...
聚四氟乙烯薄膜制备与赝火花脉冲电子束烧蚀过程
【摘 要】
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聚四氟乙烯薄膜制备与赝火花脉冲电子束烧蚀过程韩丽君，江兴流，赵静秋（北京航空航天大学应用数理系）近年来，许多实验室大力研究如何获得高质量的聚四氟乙烯（ＰＴＦＥ）薄膜的方法，其中有用真空
【机 构】
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北京航空航天大学应用数理系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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