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采用电化学方法，对基板上的Ａｌ膜进行选择性阳彬氧化，从而制得导带，通孔和介质，重复上述工序，便可制得多层布线基板，与常用多层布线基板，如ＭＣＭ－Ｃ，ＭＣＭ－Ｄ比较，它具有制作工艺简单独特，互连密度高，线径，间距和孔径更小，平面性好，绝缘电阻高等优点。
一种新型MCM基板—阳极氧化多层基板
【摘 要】
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采用电化学方法，对基板上的Ａｌ膜进行选择性阳彬氧化，从而制得导带，通孔和介质，重复上述工序，便可制得多层布线基板，与常用多层布线基板，如ＭＣＭ－Ｃ，ＭＣＭ－Ｄ比较，它具有制作工艺简单独特，互连密度高，线径，间
【机 构】
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合肥电子工业部第43研究所
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1999年1期
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