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采用Raman光谱，结合光致发光和X射线衍射测量对富硅a-SiCx∶H薄膜的结构及荧光特性进行了详细研究。结果表明，刚制备的样品中由于硅和碳原子的电负性和原子尺寸的差异，出现了化学集团效应，即样品基本保持了a-Si∶H中的网络结构，只有少量的Si—C键存在，碳主要以CHn的形式与SiHn和Si—C键一起作为硅团簇的边界。样品表现出较强的室温荧光，发光主要来自CHn，SiHn和Si—C键边界区域对硅团簇中载流子的限制作用。样品在1250 ℃氮气中退火1 h后，不但有平均尺寸为24.8 nm的硅晶粒析出，还有