【摘 要】
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基于密度泛函理论，采用第一性原理平面波赝势法对不同取向的纳晶硅薄膜以及其表面被不同类型的氧键氧化以后的纳晶硅薄膜电子态密度进行模拟计算。结果表明：当纳晶硅尺寸减小到
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基于密度泛函理论，采用第一性原理平面波赝势法对不同取向的纳晶硅薄膜以及其表面被不同类型的氧键氧化以后的纳晶硅薄膜电子态密度进行模拟计算。结果表明：当纳晶硅尺寸减小到量子限制尺寸效应数量级时，有效能隙明显展宽；纳晶硅表面部分被氧钝化以后，原本干净的禁带中出现电子局域态。计算结果表明纳晶硅薄膜受激辐射主要由量子受限效应和能隙中的电子局域态决定。
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