论文部分内容阅读
利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶（sol-gel）SiO2材料,在硅基片上旋涂成膜.研究了薄膜折射率和厚度随紫外曝光时间、后烘温度及时间等外界工艺条件的变化关系.利用紫外光直写技术,制作出1×2,1×4多模干涉（MMI）型分束器,并且观测到了分光效果较好的近场输出图像.
紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO2光波导器件
【摘 要】
：
利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶（sol-gel）SiO2材料,在硅基片上旋涂成膜.研究了薄膜折射率和厚度随紫外曝光时间、后烘温度及时间等外界工艺条件的变化关系.利用紫
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2007年7期
其他文献
用透射电子显微镜（TEM）和x射线双晶衍射仪（DCXRD）对在Si（111）衬底上生长的InGaN／GaN多量子阱（MQW）LED外延材料的微结构进行了观察和分析．从TEM高分辨像观察到，在Si和AIN界面处未形成SixN
采用常压金属有机化学气相沉积技术在Al2O3（0001）衬底上生长出高质量的ZnO薄膜.用X射线双晶衍射ω和θ-2θ扫描、室温光致发光研究了不同生长温度对ZnO薄膜的结构、发光性能的
报导了卤代芳氧基乙酰氧基烷基膦酸酯类化合物的三种核磁共振谱性质，由于磷元素的影响，这类化合物的核磁共振谱性质，特别是＾１Ｈ－ＮＭＲ谱性质显示出较丰富的特色。
<正> 《汉律摭遗》是清末著名法学家沈家本对传世汉律资料搜编考证而留下的一部重要的法史巨著。成书于壬子年(1912年)立秋,第二年这位对中国法律近代化作过重大贡献的学者就辞世而去。《汉律摭遗》二十二卷,收入《沈寄籍先生遗书》甲编,其分量约为甲编三分之一。摭,拾取之意;遗,遗留、遗漏之意。《汉律摭
在正统理论的基础上，使用主方程法建立了金属结单电子晶体管的器件模型和算法流程，将电容、电阻和温度等参数代入器件模型得到的I-V特性曲线与实验结果吻合较好，从而验证了模型
地下建筑的发展趋势是发展平战结合的地下居住和公共建筑、地下高速交通网、地下公用和服务设施等.
针对碳纳米管（CNT）场发射阴极薄膜中，CNT个体差异及其与衬底的不良接触对发光均匀性的影响，引入反馈限流电阻层以改善阴极薄膜的场发射发光均匀性．采用丝网印刷工艺在衬底上制备氧
在应试教育向素质教育转变的过程中，如何提高学生的综合素质是教育工作者面临的重大课题。文章仅就化学教学中如何运用知能并举的方法进行了探讨。
采用分子束外延技术生长了非人为掺杂的PbSe单晶薄膜,研究了薄膜中声子散射对空穴迁移率的影响.并用霍尔效应和变温电阻率测量方法分析了电学特性,得到PbSe薄膜均具有P型导电