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<正> 1. 前言对任何半导体材料,当从原材料熔体制造单晶时,至少要考虑下列各种条件。即材料熔体的保持和搅拌,确保拉制点附近的温度和温度梯度,籽晶的移动和旋转速度、加热方式、气氛等等。如何使这些条件的搭配最适于拉制这种单晶,并作到重复性好,在拉制半导体单晶时,必
大型硅单晶制造技术
【摘 要】
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<正> 1. 前言对任何半导体材料,当从原材料熔体制造单晶时,至少要考虑下列各种条件。即材料熔体的保持和搅拌,确保拉制点附近的温度和温度梯度,籽晶的移动和旋转速度、加热方
【出 处】
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上海有色金属
【发表日期】
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1973年01期
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